液环真空泵在工作时，在一定温度下，当低压处的液体压力低于在该温度下的汽化压力(即饱和蒸汽压)，液体开端汽化而产生气泡，并随液体进入高压区时，气泡决裂，四周液体疾速填充原气泡空穴，产生水力冲击。这种气泡的产生、开展和决裂现象就称为气蚀。在液环真空泵的工作过程中，吸入区城的绝对压力与被抽系统的绝对压力是分歧的。也就是说，被抽系统的真空皮越高，吸入区域的真空度也越高。

    液环真空泵需求用液体作为工作介质。每种液体在某一温度下都有对应的饱和蒸汽压。当吸入区区域的绝对压力越接近液体的饱和蒸汽压时，液体越接近沸腾伏态。这时，在吸入区城的工作液外表会产生大量的汽泡，由于液体在工作腔内产生的工作液蒸汽会占领局部工作腔的空间，泵对外的吸气才能会有所下阵。当吸入区域的压力到达工作液的饱和蒸汽压时，能够以为工作腔内全部充溢了工作液蒸汽，此时泵对外的吸气才能接近于0,而此时泵的汽蚀现象也菠为严重。

    假如工作液是水，水温越高，泵的抽气性能降落越多。液环泵的汽蚀损坏和离心式水泵的汽蚀损坏原理是一样的，都是在汽泡产生和决裂的部位，金属外表呈现气蚀现象，严重的会呈现蜂窝状损坏。假如真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的剩余应力，还会惹起应力释放，产生裂纹。